簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="無光罩"


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    無光罩微影系統之解析度研究
    • /98/ 碩士
    • 研究生: 方偉凱 指導教授: 鄭正元 張復瑜
    • 目前主流半導體製程仍採用實體光罩進行黃光微影,但實體光罩有易污染、成本高以及光罩更換與對準曝光等問題。為解決這些問題,本實驗室開發出特殊的無光罩顯微鏡微影系統,其特點為整合了顯微鏡與投影機這兩個不同…
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    2

    運用DMD無光罩微影技術製作垂直結構薄膜電晶體元件研究
    • /94/ 碩士
    • 研究生: 蕭為凱 指導教授: 鄭正元
    • 本論文主要是利用自行研發設計的DMD(Digital Micromirro Device)無光罩微影系統(Maskless Photolithography System)製作垂直結構 TFT 元件…
    • 點閱:530下載:3
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